關鍵詞:隧道結 三維傳輸子 量子比特
摘要:研究了三維傳輸子(3D-transmon)量子比特的制備技術。采用電子束光刻技術制備亞微米雙層膠懸空掩模,電子束斜蒸發技術制備Al/AlOx/Al超導隧道結。將隧道結與三維諧振腔耦合,成功實現3D-transmon。在20 mK下測試了量子比特的能級躍遷頻率、拉比振蕩、能量弛豫時間t1等性能,t1約566 ns。t1較短的原因是量子比特躍遷頻率與三維諧振腔頻率接近,耦合過緊。
低溫與超導雜志要求:
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