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關(guān)鍵詞：加速度傳感器 高溫 壓電陶瓷 制備工藝 

摘要：采用傳統(tǒng)固相法制備了(NaBi)x(Li La)yBi2Nb2O9壓電陶瓷,研究了(NaBi)x(Li La)yBi2Nb2O9壓電陶瓷的制備工藝。燒結(jié)溫度為1130℃時(shí),(NaBi)x(Li La)yBi2Nb2O9壓電陶瓷的致密度達(dá)到最大;極化電壓為13kV/mm時(shí),壓電常數(shù)達(dá)到最大。將上述陶瓷組裝成壓縮式傳感器,在溫度為25℃時(shí),該傳感器靈敏度為51. 96pC/g,橫向靈敏度為0. 7%;振動(dòng)頻率在20-4000Hz時(shí),靈敏度偏差在±10%的范圍內(nèi);在25-530℃的靈敏度溫漂小于12%。

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