鈮鎂酸鋇緩沖層對鋯鈦酸鉛薄膜漏電流的抑制
關(guān)鍵詞：鈮鎂酸鋇緩沖層 鋯鈦酸鉛鐵電薄膜 介電損耗 鐵電性能 漏電流密度
摘要：將鈮鎂酸鋇(Ba(Mg1/3Nb2/3)O3,BMN)作為緩沖層,通過溶膠-凝膠法制備了鋯鈦酸鉛(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,PZT)鐵電薄膜。探究BMN緩沖層對PZT鐵電薄膜介電、鐵電性能影響。研究發(fā)現(xiàn):BMN緩沖層不僅可以改善PZT薄膜晶化生長,同時阻礙了PZT與Pt的互擴(kuò)散而降低了漏電流。由于對漏電流的抑制作用,適當(dāng)厚度BMN緩沖層的引入可改善PZT的鐵電性能,但隨著緩沖層厚度的增加,由于其分壓作用,復(fù)合膜鐵電性減弱。當(dāng)厚度為10nm時,薄膜的綜合性能最好:介電常數(shù)εr=1612.03,介電損耗tanδ=0.024,剩余極化值Pr=31.65μC/cm^2,矯頑場Ec=71.5kV/cm,漏電流密度J=4.4×10^-6A/cm^2。
硅酸鹽通報雜志要求:
(1)來稿必須是作者原創(chuàng)作品，若出現(xiàn)抄襲等侵犯他人版權(quán)之現(xiàn)象，責(zé)任均由投稿人承擔(dān)。
(2)標(biāo)題層次一級標(biāo)題用“一、二、……”來標(biāo)識，二級標(biāo)題用“（一）、（二）、……”來標(biāo)識，三級標(biāo)題用“1.2.”來標(biāo)識，四級標(biāo)題用“（1）、（2）”來標(biāo)識。
(3)多作者文稿署名時必須排序，應(yīng)注明每位作者的工作單位和郵政編碼。第一作者還須提供性別、出生年、學(xué)位、職稱、是否為研究生導(dǎo)師等方面的信息。通信作者應(yīng)注明聯(lián)系電話及其電子信箱。
(4)同一文獻(xiàn)兩次或兩次以上引用，第二次引用時，若緊接第一次引用注文，則徑注“同上注，第×頁”；若第二次與第一次引用之間有其他注釋，則在作者名之后，注明“前引注N，第×頁”。
(5)摘要：論著、臨床研究、經(jīng)驗交流等應(yīng)附中英文摘要。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
