基于激光傳感器的液體靜壓導(dǎo)軌模態(tài)仿真與測試方法研究
張立斌 航空工業(yè)北京航空精密機械研究所; 北京100076
關(guān)鍵詞：靜壓導(dǎo)軌 激光傳感器 有限元分析 模態(tài)性能
摘要：在超精密加工設(shè)備中,超精密液體靜壓導(dǎo)軌是其關(guān)鍵部件.影響導(dǎo)軌性能的因素有很多,隨著加工精度的不斷提高,導(dǎo)軌的動態(tài)特性成為了不可忽視的因素之一,導(dǎo)軌模態(tài)性能測試的準(zhǔn)確性更成為其關(guān)鍵.本文采用某型激光傳感器對液體靜壓導(dǎo)軌進行頻譜響應(yīng)測量,測量精度高,測量準(zhǔn)確.
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