離子束濺射Al2O3薄膜及其在藍寶石窗口中的應用
米高園; 楊崇民; 張建付; 王松林; 劉青龍; 朱筱群; 李明偉 西安應用光學研究所; 陜西西安710065
關鍵詞：離子束濺射 al2o3薄膜 光學窗口 環境適應性
摘要：為了研究Al2O3薄膜在藍寶石光學窗口中的應用,采用離子束濺射技術制備了不同工藝條件下的Al2O3薄膜,根據薄膜的測試結果對薄膜的折射率和消光系數進行了擬合,分析了工藝條件對Al2O3薄膜性能的影響。在藍寶石窗口上用ZnS和Al2O3作為高、低折射率材料,設計并制備了電視(600~900 nm)和中紅外(3.4~4.8μm)雙波段高效減反射薄膜,測試結果表明,薄膜的減反射效果良好,具有較強的環境適應性,適合于作為光學窗口薄膜。而Al2O3薄膜吸潮引起的2.8~3.5μm波段的吸收,以及藍寶石基片在4.0μm之后的吸收是造成透射率較低的主要原因。
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