掃描探針顯微鏡下微納結構深度測量的校準方法
劉儉; 谷康; 李夢周; 由小玉; 劉辰光; 王宇航; 譚久彬 哈爾濱工業大學現代顯微儀器研究所; 黑龍江哈爾濱150001; 哈爾濱工業大學超精密光電儀器工程研究所; 黑龍江哈爾濱150001; 哈爾濱工業大學空間基礎科學研究中心; 黑龍江哈爾濱150001
關鍵詞：計量學 深度測量 微納結構 掃描探針顯微鏡
摘要：掃描探針顯微鏡(SPM)是微納結構三維測量中的一項重要技術。然而,在測量過程中臺階或溝槽樣品的邊緣附近會出現不準確的輪廓,這就造成了深度測量的精度損失。為了避免深度測量的精度損失,分別建立了機械探針和光學探針的兩個分析模型,描述了不準確輪廓、樣品深度和探針形狀之間的耦合關系;在此基礎上,提出了一種具有良好精度的深度測量標定方法。與現有的國際深度測量標準(W/3規則)進行比較,該方法提供了一個明確的邊界來確定測量結果是否有效;此外,它還可以指導用戶在執行測量之前選擇適當的探針。
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