關(guān)鍵詞:橢圓偏振光測量 偏振糾纏光子 光纖 自發(fā)四波混頻
摘要:利用基于光纖的便攜式偏振糾纏光子對源作為檢測光源,搭建了使用單模光纖進(jìn)行耦合的量子橢圓偏振光測量裝置。實(shí)驗(yàn)測量了氧化層厚度為100nm的氧化膜硅片樣品,通過將偏振糾纏光子對中的一路經(jīng)由氧化膜硅片樣品進(jìn)行反射,然后借助雙光子符合計(jì)數(shù)方法測量反射后的量子態(tài),得到了樣品的橢圓偏振參數(shù)。當(dāng)入射到樣品上的光子波長為1 558.17nm,入射角為30°時(shí),通過三次實(shí)驗(yàn)所得的橢圓偏振參數(shù)(ψ,Δ)的平均值分別為40.23°和173.10°,標(biāo)準(zhǔn)差分別為0.046°和0.403°,測量結(jié)果的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差小于1%,同時(shí)該結(jié)果與仿真模擬值相符。
量子光學(xué)學(xué)報(bào)雜志要求:
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