基于復合封裝薄膜的水汽透過率測試系統研究
李晟; 張建華; 樓志斌; 殷錄橋 上海大學新型顯示技術及應用集成教育部重點實驗室; 上海200072; 上海大學機電工程與自動化學院; 上海200072; 上海科學院; 上海201203
關鍵詞：薄膜封裝 活潑金屬電學法 水汽透過率
摘要：基于活潑金屬（鈣、鎂）電學法設計研發了用于老化測試環境下的水汽透過率測試儀器，測試精度達到10^-6g·m-2·d-1．利用本測試儀器測試了不同疊層次數的Al2O3／ZrO2復合薄膜的水汽透過率，結果表明，多次疊層后的Al2O3／ZrO2復合薄膜的水汽阻隔性能得到了較好提升．
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