佳能FPD曝光設備“MPAsp—H1003T”——實現2.0μm解析度對65英寸液晶面板的一次曝光
關鍵詞：一次曝光 液晶面板 曝光設備 解析度 佳能
摘要：佳能將于2018年10月下旬起正式發售FPD(FlatPanel Displayl曝光設備新品,型號為“MPAsp-H1003T”。該產品針對第8代玻璃基板尺寸■1研發,實現了運用2.0μm(L/S■2)的解析度對65英寸液晶面板進行一次曝光的技術。
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