MOEMS器件的硅微透鏡陣列制造工藝
王進 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米加工平臺; 江蘇蘇州215123
關鍵詞：微透鏡陣列 moems 硅微加工技術 光刻膠熱熔法 icprie
摘要：開發了一種適于MOEMS器件的基于硅微加工技術的簡易的硅微透鏡陣列制造工藝。通過光刻膠熱熔法與ICPRIE(感應耦合等離子反應離子刻蝕)相結合的方式,實現在硅晶圓上批量生產微透鏡陣列。通過多層涂膠的方式以及以2.5℃/min的速率從115℃升溫至130℃的熱熔工藝,獲得口徑為2.41 mm、矢高99.9μm的光刻膠微透鏡陣列。通過控制ICPRIE的膠與硅的刻蝕選擇比達到約1∶1,將光刻膠曲率準確地轉移到硅晶圓上。
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