硅微諧振式壓力傳感器閉環頻率跟蹤電路
許高斌; 徐枝蕃; 胡海霖; 陳興; 馬淵明 合肥工業大學電子科學與應用物理學院; 安徽省MEMS工程技術研究中心; 安徽合肥230009
關鍵詞：諧振式壓力傳感器 頻率跟蹤電路 鎖相環 無相差
摘要：
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