冶金法提純多晶硅退火工藝優(yōu)化的數(shù)學(xué)模型分析與試驗(yàn)驗(yàn)證
關(guān)鍵詞：多晶硅 冶金法 退火 建模 試驗(yàn)
摘要：冶金法制備多晶硅過(guò)程中,通過(guò)對(duì)不同退火溫控方案進(jìn)行數(shù)學(xué)建模,探求優(yōu)化的退火理論溫度控制函數(shù)與曲線(xiàn)。數(shù)學(xué)模型表明,對(duì)硅鑄錠直接進(jìn)行保溫,依靠自然熱平衡退火,會(huì)使內(nèi)部應(yīng)力大于產(chǎn)生位錯(cuò)的臨界應(yīng)力;采用加熱元件對(duì)硅鑄錠適當(dāng)加熱保溫可減緩降溫速率。通過(guò)比較,選擇較低的退火溫度1 236℃和較短的退火時(shí)間8.52 ks作為試驗(yàn)退火溫控方案。試驗(yàn)驗(yàn)證表明,該退火方案得到的多晶硅鑄錠目視裂紋較少,少數(shù)載流子壽命與電阻率具有明顯優(yōu)勢(shì)。
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