小型半密封器件腔體壓力變化測量方法研究
孫冬花; 陳聯; 趙瀾; 張瑞芳; 丁棟; 張瑞年 蘭州空間技術物理研究所真空技術與物理重點實驗室; 甘肅蘭州730000
關鍵詞：密封器件 壓力變化 測量方法
摘要：針對小型半密封器件腔體壓力變化無法采用真空計直接測量的特點,提出了一種基于材料放氣率測量工作中使用的靜態壓升法和動態流量法,將兩者結合使用的腔體壓力間接測量法,并針對某種典型半密封器件產品,采用微型測量傳感器進行了原位模擬測試驗證。模擬測試結果表明,所提出的腔體壓力計算測量法具有測量結果準確,簡單可行,能解決小型半密封器件腔體壓力測量的難題。該方法適用于陀螺儀充油、制冷機腔體充氦、電推進系統氙氣充裝等過程中的腔體壓力變化實時監測。
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