等離子體輔助原子層沉積技術包覆硅基氮化物熒光粉的結果性能研究
張子欣; 劉忠偉; 楊麗珍; 陳強 北京印刷學院; 等離子體物理與材料實驗室; 北京102600
關鍵詞：等離子體輔助原子層沉積 包覆 硅基氮化物熒光粉
摘要：采用等離子體輔助原子層沉積的方法,通過振動流化床,在硅基氮化物熒光粉表面保形地包覆了氧化鋁薄膜。分別用傅立葉紅外光譜(FTIR)、掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)和pH計對包覆前后熒光粉的表面成分、形貌和耐水性進行了測試。最后,還用熒光光譜儀對包覆前后熒光粉的PL發光進行了表征。結果表明,氧化鋁被保形地包覆在熒光粉顆粒表面。包覆大大提升了熒光粉在水中的穩定性。包覆一定厚度的氧化鋁對發光性能有所提升并可以略微降低熒光粉的色溫。
真空雜志要求:
{1}文稿作者署名人數一般不超過5人，作者單位不超過3個。
{2}本刊在尊重原稿的前提下，對來稿作必要的修改或刪節。所有文章一經發表，即有權提供給各合法電子媒體使用，作者若不同意，請在投稿時說明。
{3}題名要求簡明扼要，中文題名不超過20個字。
{4}參考文獻著錄必要的、在正式出版物上發表的文獻。文獻按在文中引用的先后順序排列，并在文中引用處標注文獻列表的序號。
{5}摘要中文摘要400～500字，必須標明：目的、方法、結果、結論4部分，有對應的英文，英文摘要須包括：OBJECTIVE,METHODS,RESULTS,CONCLUSIONS。最好將本文創新點寫在結論部分。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
